Домой Анонсы и новости В России научились создавать высокочистые газы для микроэлектроники

В России научились создавать высокочистые газы для микроэлектроники

29
0

В России научились создавать высокочистые газы для микроэлектроникиСобственное производство высокочистых газов позволит заменить импортные материалы, используемые при выпуске отечественных электронных компонентов, и создать высокотехнологичные изделия, востребованные на рынке микроэлектроники. Фото: rostec.ru

Холдинг «Росэлектроника» (принадлежит «Ростеху») разработал технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов. Они применяются при изготовлении современной микроэлектронной продукции. Об этом сообщила пресс-служба госкорпорации.

Речь идет о промышленном производстве таких газов, как:

  • моносилан;
  • арсин;
  • фосфин;
  • аммиак;
  • бор трехфтористый;
  • бор треххлористый. 

Все они востребованы на рынке микроэлектроники. При этом ранее для работы с ними приходилось использовать импортные материалы. 

Зачем нужны высокочистые газы

«Высокочистые газы играют в создании микроэлектроники важную роль. В производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов, как вполне обычных, типа кислорода, азота, двуокиси углерода, водорода, аргона, так и довольно редких или токсичных — фтор, трехфтористый азот или бор»,  — комментирует исполнительный директор «Ростеха» Олег Евтушенко. 

В России научились создавать высокочистые газы для микроэлектроники

Высокочистые газы хранятся в специальных баллонах. Фото: motukeagas.net

По словам эксперта, арсин и фосфин, например, помогают изменять проводимость материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. А моносилан применяют в ходе производства подложек и технологических слоев микросхем.

Отечественные разработки

Чтобы сохранить все важные характеристики газов при их транспортировке и хранении на предприятии, специалисты предложили использовать баллоны, прошедшие особую подготовку. Что именно с ними делают, неизвестно, но пресс-служба «Ростеха» сообщает, что решение позволяет сохранять требуемую чистоту материалов в баллонах низкого давления не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления — не менее 12 месяцев. Разные баллоны подходят для хранения разных газов.

»В настоящее время наши специалисты продолжают совершенствовать технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, а также ведут разработку новых решений для получения материалов для микроэлектроники»,  — заключает генеральный директор НПП «Салют» (в составе «Росэлектроники») Александр Бушуев. 

Ранее журнал Time назвал лучшие изобретения и гаджеты 2022 года. Смотрите на самые интересные из них в нашей подборке:

Листайте фото и читайте описания к ним. Использованы изображения с сайта time.com

Это тоже интересно:

Хотите первыми узнавать о российских изобретениях? — Жмите на кнопку подписки

ОСТАВЬТЕ ОТВЕТ

Please enter your comment!
Please enter your name here